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小編告訴你涂布機該怎么操作

來源:www.coxfr73.top 發表時間:2016-07-26

自動涂布機操作步驟:      

(1) 首先將PUMP的電源插頭插入涂布機后面的電源插座。    

(2) 將涂布機插頭插入110V的電源插座,然后按下[POWER]鍵。    

(3) 設定旋轉的轉速及時間,本機型為二段式加速的Spin Coating,右邊為第一段加速,左邊為第二加速。    

(4) 依不同尺寸的基材,可更換不同的旋轉轉盤做徒步的動作。   

(5) 按下[PUMP]鍵,此時旋轉轉盤會吸住基材,然后將光阻依螺旋狀從基材中心均勻且慢慢的往外涂開至適當的量,在做光阻涂開動作時可先用氮氣將旋轉轉盤周圍及基材吹乾凈。    

(6) 蓋上涂布機的保護蓋,以防止光阻濺出涂布機外。   

(7) 按下[START]鍵,涂布機便開始做涂布的動作。    

(8) 涂布完畢后,打開保護,按下[PUMP]鍵旋轉轉盤會放開基材,便可以將基材取出。 

  

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